XRF射線熒光分析儀分析速度快，分析精密度高，那么XRF射線熒光分析儀的分析原理是什么呢？
不同元素發出的特征X射線能量和波長各不相同，因此通過對X射線的能量或者波長的測量即可知道它是何種元素發出的，進行元素的定性分析。同時樣品受激發后發射某一元素的特征X射線強度跟這元素在樣品中的含量有關，因此測出它的強度就能進行元素的定量分析。
在看XRF之前咱們先簡單了解一下X射線，X射線是由于原子中的電子在能量相差懸殊的兩個能級之間的躍遷而產生的粒子流，是波長介于紫外線和γ射線之間的電磁波。其波長很短約介于0.01~100埃之間。由德國物理學家W.K.倫琴于1895年發現，故又稱倫琴射線。
XRF：X射線熒光光譜分析(X Ray Fluorescence)人們通常把X射線照射在物質上而產生的次級X射線叫X射線熒光（X-Ray Fluorescence），而把用來照射的X射線叫原級X射線。所以X射線熒光仍是X射線。
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